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扫描尺寸为20 μm的晶圆标准片的表面形貌图像，图像可以用于揭示晶圆加工结构的周期是否符合预期，为寻找加工缺陷提供参考。

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[AFM] 晶圆标准片
[AFM] 晶圆标准片
  • [AFM] SRAM的表面电势
    [AFM] SRAM的表面电势
  • [AFM] PSS的边缘结构
    [AFM] PSS的边缘结构
  • [AFM] SiC表面
    [AFM] SiC表面
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