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��张扫描范围为0.548 mm×0.685 mm的激光打标器件形貌，激光打孔直径约为22 μm，其深度约为15.2 μm。获取打标深度、沟槽形貌以及可能产生的热影响区隆起，可用于评估打标质量、优化激光工艺参数。