案例分享丨富睿思国产原子力显微镜（AFM）在ITO及PLZT薄膜表征中的性能表现

纳米尺度薄膜作为现代科技的基础材料，在电子、能源、生物、光学等多个前沿领域发挥着核心作用。对这些薄膜的精确表征与性能调控，是实现其功能化与高性能化的关键。

原子力显微镜（AFM）凭借其超高分辨率、丰富的表征维度和非破坏性的特点，已成为纳米薄膜研究中不可替代的利器。AFM不仅能够提供薄膜表面形貌的高清图像和薄膜台阶高度、粗糙度等信息，还能深入分析其力学、电学、摩擦学等性能，为薄膜材料的设计、优化和应用提供了强有力的技术支撑。

作为国内领先的表面精密测量设备制造商，富睿思仪器（FreeSpirit Instruments）始终坚持自主研发，致力于为科研和工业用户提供性能卓越、稳定可靠的国产原子力显微镜（AFM）解决方案。

那么，富睿思国产AFM在多种材料的纳米级表征中究竟表现如何？下文将通过针对典型ITO及PLZT薄膜的实测数据为您揭晓：

▲图1：富睿思AFM实测ITO薄膜表面形貌图像（扫描范围5 μm×5 μm）

如图1所示，在5 μm×5 μm的扫描范围内，富睿思AFM精准地捕捉到了ITO薄膜微细的形貌特征。测试结果显示薄膜表面颗粒均匀，测得粗糙度为1.46 nm，展现了设备卓越的底噪控制能力。

除了形貌表征，富睿思AFM在复杂物性分析上也同样出色。

▲图2：富睿思AFM实测PLZT薄膜的Lockin Phase图像（扫描范围5 μm×5 μm）

图2展示的是在5 μm×5 μm的扫描范围内，富睿思AFM获得的PLZT薄膜的Lockin Phase图像。红色与黄色区域分明，精确表征了Phase相差180°的不同压电畴区域，体现了系统极高的相位灵敏度。

综上所述，无论是ITO薄膜的粗糙度分析，还是PLZT薄膜的压电畴观测，富睿思国产原子力显微镜均展现出了比肩国际一流水平的测试效果。

富睿思仪器提供包括AFM-Piccolo、AFM-Baritone、AFM-Tenor等多种型号的AFM产品，如您需要选型建议、报价或样机演示，欢迎通过以下方式联系我们：

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富睿思国产原子力显微镜（AFM），让纳米薄膜表征更简单、更可靠。