原子力显微镜（AFM）的轻敲模式（Tapping Mode）

轻敲模式（Tapping Mode）的基本原理是使探针工作在谐振状态，反馈量由探针的弯曲量变成了探针悬臂梁振动的振幅值。在该模式下，探针以设定好的振幅（Setpoint）在样品表面扫描，样品表面的起伏迫使探针悬臂梁的振幅发生变化，于是探针悬臂梁反射至四象限光电探测器（QPD）上的光斑法相振幅（Amplitude）也随之变化。将Amplitude当前值输入PID反馈控制器与设定值（Setpoint）比较，二者的差值（Error）被转换为相应的输出电压驱动Z扫描器伸长或收缩以抵消样品起伏引起的悬臂梁振幅的变化，这个反馈过程可以使Amplitude始终维持在Setpoint，此时Z向扫描器伸长或收缩产生的位移即反映了样品的高度起伏，将扫过的所有点的XY坐标与对应的Z向高度结合起来就能重构出样品的表面三维形貌。