富睿思为原子力显微镜和白光轮廓仪开发了通用的离线分析软件FreeAnalysis,可提供调平、滤波、2D/3D显示、截面分析、粗糙度计算、裁剪、拼接、傅里叶变换等标准功能,支持针对特定样品的专属分析功能定制。
截面粗糙度分析
2D显示
3D显示
区域粗糙度分析
台阶高度分析
频谱分析