
2025年12月,富睿思仪器将携自主研发的高性能国产原子力显微镜(AFM)与白光轮廓仪(WLI)分别亮相绵阳铸盾计划与东京SEMICON Japan,与科研和工业用户面对面交流国产精密测量技术的最新进展与应用,助力国产替代进程及半导体产业升级,诚邀请您莅临展位指导!
展会信息
铸盾计划—2025年国产创新产品与先进材料推介会
聚焦:科研用户与国产供应链深度对接,推动供需匹配、共创生态
详情:https://mp.weixin.qq.com/s/uK96ojB-ontLXerXyDI4sg
时间:2025年12月12日
展位号:A02
SEMICON JAPAN
聚焦:全球半导体生态,深度探讨先进量测技术应用
官网:https://www.semiconjapan.org/en
时间:2025年12月17日至19日
场馆:Tokyo Big Sight
展位号:S2608
核心产品

AFM-Baritone 200毫米机台原子力显微镜
AFM-Baritone是面向科研和高端工业用户开发的一款大机台原子力显微镜,配备200毫米全自动样品台,可用于8英寸以内各种规格晶圆及其他样品的形貌和物性检测。
采用三维正交扫描式测头,规避下扫描架构对样品尺寸和重量的限制
标配自动换针和自动调光功能,支持变速扫描和增益自整定
XYZ扫描范围100 μm×100 μm×15 μm
Z方向噪音水平≤0.05 nm RMS值

AFM-Piccolo桌面型超薄测头原子力显微镜
AFM-Piccolo是一款专门为科研用户开发的桌面型原子力显微镜,配备超薄光杠杆式测头,探针上方和前侧空间完全开放,特别适合与各类高分辨光学显微系统原位集成联用。
支持样品尺寸直径≤30 mm,厚度≤5 mm
XYZ扫描范围100 μm×100 μm×5 μm
Z方向噪音水平≤0.04 nm RMS值

WLI-Marimba紧凑型白光轮廓仪
WLI-Marimba是一款专为工业和科研用户设计的紧凑型白光轮廓仪,广泛适用各类材质样品的测量,能够快速获取待测表面形貌并进行分析。同时,它支持定制,能够以最经济的方式高标准满足特定测量需求。
结构设计紧凑,占用空间小,真正的桌上型设备
轻量化设计,整机仅20 kg,移动方便
100 μm垂直扫描范围,满足大部分应用需求
支持模块化选择,具备良好的功能扩展,实现最优的测量配置
关于富睿思仪器
富睿思仪器(FreeSpirit Instruments)创立于2021年,是一家专注于表面精密测量设备自主研发与生产的高科技企业,主要产品包括原子力显微镜(AFM)、白光轮廓仪(WLI)等。
创始人及技术团队均出身于天津大学精仪系,具有扎实的技术积累和丰富的实践经验。公司致力于推动先进量测技术的发展,为科学研究和泛半导体行业提供可靠的国产解决方案。
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