CIOE精彩抢先看！解锁富睿思光学测量与跨尺度原位联用国产解决方案

第27届中国国际光电博览会（CIOE 2026）

时间：2026年9月9-11日（周三-周五）

地点：深圳国际会展中心（宝安新馆）

富睿思展位号：3号馆3A87

CIOE中国光博会将于2026年9月9-11日在深圳盛大举办。

富睿思仪器将携旗下表面精密测量国产解决方案和桌面型原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统AFM-WLI Duet真机重磅亮相CIOE 2026。

本期【抢先看】带您提前解锁富睿思光学测量与跨尺度联用两大硬核解决方案！

01 光学测量解决方案：非接触式白光干涉测量

核心产品：WLI-Marimba 紧凑型白光轮廓仪

关键参数：

• 垂直扫描范围：100 μm

• 垂直测量分辨力：0.09 nm

• 粗糙度RMS：Ra 0.006 nm, Rq 0.007 nm

• 相机靶面：1916×1444 pixel

应用案例：

△标准台阶

△栅格

△透镜

△滚珠

△单晶金刚石

△增材制造

△涂层

△微透镜阵列

△金属表面冲击坑

△金属表面划痕

资料获取：点击链接< https://www.frsinst.com/download/>，免费获取完整WLI-Marimba产品手册。

02  跨尺度联用解决方案：白光干涉与扫描探针原位联用

核心产品：AFM-WLI Duet 桌面型原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统

主要特色：

• 原子力与白光干涉双测头同轴集成，实现跨尺度高分辨三维测量

• WLI测头实现大范围快速三维形貌成像

• AFM测头实现小范围亚纳米分辨形貌和物性同步表征

应用案例：SRAM器件大范围三维轮廓与关键单元高分辨形貌及表面电势表征。

AFM-WLI Duet首先使用白光干涉测头完成对SRAM阵列的大范围快速三维轮廓测量，随后定位至关键单元，直接使用原子力测头完成原位高分辨形貌和电学特性表征。

现场真机演示：展会期间，富睿思技术团队将现场演示桌面型原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统AFM-WLI Duet的测样过程，欢迎莅临3号馆3A87展位互动交流。

03 业务对接与资料获取

产品手册获取：点击链接< https://www.frsinst.com/download/>，即刻下载

咨询报价/测样：李经理18994392037

公司官网：www.frsinst.com

9月，富睿思期待与您相聚深圳CIOE光博会！

关于富睿思仪器

富睿思仪器（FreeSpirit Instruments）创立于2021年，是一家专注于表面精密测量设备研发与生产的高科技创新企业。

立足于自主研发的技术底座，公司已推出多款具有核心知识产权的原子力显微镜（AFM）、白光轮廓仪（WLI）以及原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统（AFM-WLI）等，并已成功交付国内头部高校、科研院所以及工业企业。

富睿思仪器致力于为前沿科研、化合物半导体及新型显示等领域，提供稳定、可靠的国产精密量测解决方案。

官方网站：www.frsinst.com

咨询报价/测样：李经理18994392037

公司邮箱：info@frsinst.com

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