邀请函丨富睿思邀您共赴9月深圳CIOE中国光博会，解锁表面精密测量新体验

第二十七届中国国际光电博览会（CIOE中国光博会）将于2026年9月9-11日在深圳国际会展中心盛大举办。

作为专注于表面精密测量设备的研发与生产的高科技创新企业，富睿思仪器将携旗下光学测量、微纳精密量测及跨尺度表征解决方案，以及桌面型原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统AFM-WLI Duet真机重磅亮相CIOE 2026。

诚挚邀请您莅临3号馆3A87号展位交流指导，共同见证国产精密测量技术的创新与应用！

一、观展指引

展会名称：第27届中国国际光电博览会（CIOE 2026）

展会时间：2026年9月9-11日

展会地点：深圳国际会展中心（宝安新馆）

富睿思展位号：3号馆3A87

展台福利：参与展台现场互动，即可领取精美礼品一份

二、展台看点

本次CIOE光博会，富睿思仪器将重点展示光学测量、微纳精密量测及跨尺度表征方面的核心产品及解决方案。

01. 非接触式白光干涉测量：白光轮廓仪（WLI）

核心产品：WLI-Marimba 紧凑型白光轮廓仪

• 垂直扫描范围：100 μm

• 垂直测量分辨力：0.09 nm

• 粗糙度RMS：Ra 0.006 nm, Rq 0.007 nm

• 相机靶面：1916 × 1444 pixel

02. 突破光学衍射极限的高分辨扫描探针测量：原子力显微镜（AFM）

核心产品：AFM-Piccolo 桌面型科研级原子力显微镜

• 配备超薄测头，测头有效厚度<8 mm

• 开放空间，易与拉曼、光学轮廓仪等光学系统同轴集成联用

• XYZ扫描范围100 μm × 100 μm × 5 μm/15 μm，Z向噪音RMS≤0.04 nm

核心产品：AFM-Baritone 200 mm机台原子力显微镜

• 适用于8英寸以内晶圆及其他样品的形貌和物性检测

• 配备全自动XY二维样品台，支持自动换针、自动调光

• XYZ扫描范围100 μm × 100 μm × 15 μm，Z向噪音RMS≤0.05 nm

核心产品：AFM-Tenor 300 mm机台原子力显微镜

• 适用于12英寸以内晶圆及其他样品的形貌和物性检测

• 配备全自动XYRz三轴样品台，支持自动换针、自动调光

• XYZ扫描范围100 μm × 100 μm × 15 μm，Z向噪音RMS≤0.05 nm

03. 白光干涉与扫描探针原位联用：原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统（AFM-WLI）

核心产品：AFM-WLI Duet 桌面型原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统

• 原子力与白光干涉双测头同轴集成，实现跨尺度高分辨三维测量

• WLI测头实现大范围快速三维形貌成像

• AFM测头实现小范围亚纳米分辨形貌和物性同步表征

【真机现场测样】展会期间，富睿思技术团队将在3A87展位现场演示桌面型原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统AFM-WLI Duet，带您直观感受原位跨尺度测量的便捷与精准。

三、业务对接与资料获取

产品手册获取：https://www.frsinst.com/download/

咨询报价/测样：李经理18994392037

公司官网：www.frsinst.com

9月9日-11日，深圳国际会展中心（宝安新馆）3号馆3A87展位，富睿思与您不见不散！