CIOE 2026圆满收官丨富睿思聚焦表面精密测量，展示光学测量、微纳精密量测及跨尺度表征解决方案

9月9-11日，第二十七届中国国际光电博览会（CIOE 2026）在深圳国际会展中心（宝安新馆）举行。

作为专注于表面精密测量设备研发与生产的高科技创新企业，富睿思仪器携光学测量、微纳精密量测及跨尺度表征解决方案亮相CIOE 2026，并在3号馆3A87展位重点展示了AFM-WLI Duet桌面型原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统真机，通过现场测样与技术展示，与到访的行业伙伴进行了面对面深入交流。

01 聚焦表面精密测量，展示多尺度量测产品

本次CIOE 2026，富睿思围绕光学测量、微纳精密量测及跨尺度表征，集中展示了三类核心产品。

（1）白光轮廓仪（WLI）

WLI-Marimba紧凑型白光轮廓仪采用非接触式白光干涉技术，可实现大范围三维形貌测量。

（2）原子力显微镜（AFM）

从桌面型科研级原子力显微镜AFM-Piccolo，到面向8英寸及12英寸以内晶圆和其他样品检测的原子力显微镜AFM-Baritone、AFM-Tenor，覆盖不同尺寸样品的形貌与物性检测。

（3）AFM-WLI联用系统

AFM-WLI Duet将原子力显微镜与白光轮廓仪同轴集成，实现跨尺度原位表征。其中，白光干涉技术可实现大范围、快速的三维形貌测量；原子力显微技术则可对局部区域进行高分辨形貌与物性表征。

02 现场测样，直观呈现设备测量表现

展会期间，富睿思技术人员在未使用隔音罩的展馆环境下，使用AFM-WLI Duet真机进行了现场测样。以下为栅格标样使用AFM-WLI Duet现场测试获得的测量结果：

 △AFM-WLI Duet展会现场栅格标样测量结果

03 从“看设备”到“聊应用”，现场交流深入展开

展会期间，富睿思技术团队围绕光学测量、微纳精密量测以及AFM-WLI联用等技术与应用，与到访的专业人士进行了深入交流。

展会第二天，富睿思仪器创始人兼首席科学家吴森接受了仪器信息网的现场采访。他介绍了本次展出的核心产品与解决方案，并就AI赋能研发与产品创新、公司面向下游应用场景的探索与布局等内容进行了分享。

△富睿思创始人吴森接受仪器信息网现场采访

04 CIOE 2026圆满收官，探索仍在继续

本届CIOE中国光博会圆满收官，也为更多交流与合作提供了新的契机。

从光学测量到微纳精密量测，从大范围三维形貌到小范围高分辨表征，富睿思持续关注表面精密测量中的实际需求，并探索不同测量技术之间的协同与融合。

如果您正在寻找白光轮廓仪（WLI）、原子力显微镜（AFM）或AFM-WLI联用系统，欢迎进一步了解富睿思的产品与解决方案。

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