上海市虹口区飞虹路118号瑞虹企业天地2号楼21楼2109室
这是一张扫描范围为30 μm的经过CMP工艺处理后的微孔阵列图像,CMP工艺是晶圆平坦化的关键工艺,对于表面粗糙度和面形的测量可以为CMP工艺的改进提供有力保障。
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