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[AFM] SiC原子台阶

这是一张扫描尺寸为500 nm的SiC原子台阶图像,其台阶高度约为0.75 nm。SiC作为宽禁带半导体的代表材料,被认为是制作大功率半导体器件的理想材料。

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[AFM] SiC原子台阶
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