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��描尺寸为5 μm的LTPS晶粒图像，其RMS粗糙度约为10 nm，晶粒尺寸约为150 nm。LTPS是Low Temperature Poly-Silicon（低温多晶硅）的简称，多用于显示行业和太阳能光伏产业‌‌中，AFM可为其表面形貌表征提供关键定量数据。

[AFM] LTPS晶粒

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