知识中心
技术论坛
产品介绍丨富睿思200毫米机台原子力显微镜AFM-Baritone
时间：2025-06-19
AFM-Baritone是富睿思仪器面向高端科研和工业用户开发的一款大机台原子力显微镜，配备200毫米全自动样品台，可用于8英寸以内各种规格晶圆及其他样品的形貌和物性检测。
适用于8英寸以内晶圆及其他样品的形貌和物性检测
配备全自动XY二维样品台，支持自动换针、自动调光
XYZ扫描范围100 μm × 100 μm × 15 μm，Z向噪音RMS≤0.05 nm
