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产品介绍丨富睿思300毫米机台原子力显微镜AFM-Tenor
时间：2025-07-09
AFM-Tenor是富睿思仪器面向高端工业用户开发的一款大机台原子力显微镜，配备300毫米全自动样品台，可用于12英寸以内各种规格晶圆及其他样品的形貌和物性检测。
适用于12英寸以内晶圆及其他样品的形貌和物性检测
配备全自动XYR三轴样品台，支持自动换针、自动调光
XYZ扫描范围100 μm × 100 μm × 15 μm，Z向噪音RMS≤0.05 nm
