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展会活动
智驱未来，量测视界 | 三月富睿思与您相约SEMICON China 2026及金刚石产业高质量发展论坛
时间：2026-03-05
在全球半导体产业深度重构与国产替代加速发展的战略机遇期，富睿思仪器（FreeSpirit Instruments）作为先进量测领域的深耕者，始终致力于为半导体及先进材料研究提供自主可控的底层支撑。
2026年3月，富睿思仪器将开启“双城联动”模式，先后亮相合肥·第三届功率半导体技术应用与装备展览会暨金刚石产业高质量发展论坛与上海·SEMICON China 2026。
在此，我们诚挚邀请各界专家学者与产业同仁亲临展位，与我们的资深应用专家面对面探讨原子力显微镜（AFM）与白光轮廓仪（WLI）在纳米级形貌表征、半导体制程检测以及超硬材料表面分析中的前沿应用与量测方案，共同见证国产精密测量设备的创新力量。
01 展会信息
（1）2026第三届功率半导体技术应用与装备展览会暨金刚石产业高质量发展论坛
聚焦：功率半导体前沿技术、装备创新、封装测试及金刚石产业高质量发展
时间：2026年3月10日至12日
场馆：合肥新站利港喜来登酒店·二楼大宴会厅
展位号：16号
（2）SEMICON/FPD China 2026
聚焦：IC制造、功率及化合物半导体、先进材料、芯车会、Micro-LED和SEMI中国英才计划等热点主题
时间：2026年3月25日至27日
场馆：上海新国际博览中心
展位号：N1馆1362号
02 旗舰产品
（1）AFM-Baritone 富睿思200毫米机台原子力显微镜
AFM-Baritone是面向科研和高端工业用户开发的一款大机台原子力显微镜，配备200毫米全自动样品台，可用于8英寸以内各种规格晶圆及其他样品的形貌和物性检测。
采用三维正交扫描式测头，可规避下扫描架构对样品尺寸和重量的限制
标配自动换针和自动调光功能，支持变速扫描和增益自整定
XYZ扫描范围100 μm×100 μm×15 μm
Z方向噪音水平≤0.05 nm RMS值
（2）AFM-Piccolo 富睿思桌面型超薄测头原子力显微镜
AFM-Piccolo是一款专门为科研用户开发的桌面型原子力显微镜，配备超薄光杠杆式测头，探针上方和前侧空间完全开放，特别适合与各类高分辨光学显微系统原位集成联用。
支持样品尺寸直径≤30 mm，厚度≤5 mm
XYZ扫描范围100 μm×100 μm×5 μm（可选10 μm/15 μm/20 μm）
Z方向噪音水平≤0.04 nm RMS值
（3）WLI-Marimba 富睿思紧凑型白光轮廓仪
WLI-Marimba是一款专为工业和科研用户设计的紧凑型白光轮廓仪，广泛适用各类材质样品的测量，能够快速获取待测表面形貌并进行分析。同时，它支持定制，能够以最经济的方式高标准满足特定测量需求。
结构设计紧凑，占用空间小，真正的桌上型设备
轻量化设计，整机仅20 kg，移动方便
100 μm垂直扫描范围，满足大部分应用需求
支持模块化选择，具备良好的功能扩展，实现最优的测量配置
即刻访问富睿思仪器官网一键下载产品手册：https://www.frsinst.com/download/
03 关于富睿思仪器
富睿思仪器（FreeSpirit Instruments）创立于2021年，是一家专注于表面精密测量设备自主研发与生产的高科技企业，主要产品包括原子力显微镜（AFM）、白光轮廓仪（WLI）等。创始人及技术团队均出身于天津大学精仪系，具有扎实的技术积累和丰富的实践经验。公司致力于推动先进量测技术的发展，为科学研究和泛半导体行业提供可靠的国产解决方案。
