邀请函丨富睿思与您相约SEMICON China 2026，定义国产微观量测新高度

在半导体制造步入先进制程的今天，每一纳米的起伏都关乎良率的成败。2026年3月25日-27日，半导体行业年度盛会 SEMICON China 将在上海新国际博览中心盛大举行。

富睿思仪器诚邀您莅临 N1-1362 展位，共同探讨国产原子力显微镜（AFM）和白光轮廓仪（WLI）如何为先进制程的工艺研发、失效分析及质量控制提供精准尺度。

1. 观展指南

• 展会名称：SEMICON China 2026

• 展会时间：2026年3月25日-27日

• 展会地点：上海新国际博览中心（上海浦东新区龙阳路2345号）

• 展位号：N1-1362

2. 旗舰产品

（1）AFM-Baritone：200毫米机台原子力显微镜

• 大样测量：配备 200 mm 全自动样品台，适配 8 英寸以内晶圆检测需求

• 性能标杆：噪声水平 ≤0.05 nm

• 高效易用：配备自动换针和自动调校激光系统，有效提升测试效率与稳定性

（2）AFM-Piccolo：桌面型超薄测头原子力显微镜

• 极致性能：具备 0.04 nm 的超低噪声水平

• 多维模式：集成接触、轻敲、磁力、电学、力学等全功能模块

• 开放式设计：测头有效厚度不足 8 mm，探针上方空间完全开放，极易与各类高分辨率光学显微镜系统集成联用

（3）WLI-Marimba：紧凑型白光轮廓仪

• 高精度：RMS重复性达0.008 nm，通过VLSI公司标准台阶标定，具备极高的可追溯性和重复性

• 轻量化：整机仅20 kg，紧凑型结构，是真正的桌上型设备

• 极致高效：非接触式快速扫描，数秒内即可获取三维表面形貌

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3. 展台互动

我们的资深应用工程师将在现场为您提供专业的技术咨询与行业解决方案。

莅临 N1-1362 展位参与现场互动，您将有机会获取富睿思专属好礼！

4. 报名参会

点击https://semi.expotec.com.cn/?lang=zh-cn，即刻完成观众预登记，与富睿思共同定义微观量测新高度。

微观世界，大有可为。

3月25日-27日，上海，富睿思在 N1-1362 展位期待您的莅临！