国产跨尺度测量利器！富睿思桌面型原子力显微镜-白光轮廓仪联用系统AFM‑WLI Duet

AFM-WLI Duet是富睿思桌面型超薄测头原子力显微镜AFM-Piccolo与白光轮廓仪WLI-Marimba（Linnik型）的同轴集成系统。

AFM-Piccolo的测头设计独具匠心，有效厚度小于8 mm，并且系统的探针上方和前侧空间完全开放，非常适合与包括白光轮廓仪（WLI）在内的其它设备联用。

WLI-Marimba（Linnik型）是一款专门为与原子力显微镜（AFM）联用所设计的基于Linnik形式的长工作距离白光轮廓仪，与AFM-Piccolo联用时，能够实现AFM-WLI Duet测头结构的真正集成化，以紧凑、便捷的形式实现高精度形貌测量。

在需要兼顾大尺度快速测量与小尺度高分辨测量的应用场景时，AFM-WLI Duet能够提供一站式解决方案。系统利用白光干涉技术实现快速大范围测量，随后通过原子力显微技术进行微区纳米级高分辨扫描，二者的有效结合实现了原位跨尺度形貌表征，显著提升测试效率并保证测量结果的一致性和精度。

以下为AFM-WLI Duet在原子力显微镜和白光轮廓仪联用中的典型测试案例。

图1：回字形栅格扫描图像

如图1所示，AFM-WLI Duet利用白光干涉测头和原子力测头对栅格标样进行原位跨尺度表征，分别获得大范围三维形貌和局部轮廓及粗糙度，并对同一位置高度测量结果进行比对。

图2：SRAM扫描图像

如图2所示，AFM-WLI Duet通过联用系统中的白光干涉测头，对静态随机存取存储器SRAM（Static Random-Access Memory，SRAM）阵列进行大范围快速三维轮廓测量，随后在关键单元使用原子力测头完成原位高分辨形貌和电学特性表征。