仪器信息网×富睿思丨SEMICON现场专访：以微米到纳米国产量测解决方案，赋能半导体产业升级

精密量测是半导体的“眼睛”。直击 SEMICON China 2026 现场，富睿思应用及售后服务部经理刘曜纶博士应邀接受了精密仪器行业主流媒体《仪器信息网》的采访，深度解析了国产原子力显微镜（AFM）与白光轮廓仪（WLI）如何赋能先进制程量测，助力半导体产业升级。

 1. 产品矩阵：构建从微米到纳米的量测生态 

本届展会，富睿思重点展示了AFM-Piccolo、AFM-Baritone和WLI-Marimba三款主打产品，覆盖了从AFM到WLI的表征矩阵。更具创新性的是，富睿思还推出了AFM与WLI的联用设备AFM-WLI Duet，通过原位同轴集成，实现了大尺度快速定位与小尺度高精度扫描的无缝衔接。 

2. 行业应用：AFM助力纳米级缺陷检测 

混合键合工艺对亚纳米级表面平整度、精准度和清洁度要求极高，传统光学检测难以识别纳米级缺陷，而电学测试往往滞后。富睿思AFM平台可实现形貌与电学、力学性质的原位同步测试，帮助客户及时发现微区缺陷，为先进封装降本增效提供有力支持。 

3. AI融合：赋能下一代AFM 

富睿思正将AI技术引入下一代AFM产品，通过实时分析扫描图像配合自适应扫描策略，在探针状态良好时提高分辨率，接近寿命末期时降低扫描速度，从而保证数据质量的稳定性，帮助客户在良率爬升阶段大幅降低周期与成本。 

4. 前瞻布局：聚焦先进封装和化合物半导体 

富睿思采用特殊涂层探针和低接触力扫描模式，避免外延层或异质结结构表面损伤并延长探针寿命；利用导电原子力显微镜或开尔文探针力显微镜分析样品表面局域电学性质，定位高缺陷密度区域；通过控温手段观察极端温度下表面形貌与电学性质变化，为器件可靠性评估提供依据。

5. 战略愿景：做国产精密量测稳定发展的加速器 

未来一年，富睿思在中国市场的核心目标是在产业周期波动中持续提升设备稳定性，成为客户值得信赖的技术伙伴，并在国产化设备进程中充当加速器。同时，刘曜纶博士建议关注跨设备、跨尺度的数据关联，通过AFM-WLI联用方案驱动工艺优化与良率提升。