富睿思桌面型超薄测头原子力显微镜AFM-Piccolo使得光、机、电等多种物性的原位表征以及纳米精度的原位加工和操纵变得简单易行。

富睿思旗下的AFM-Piccolo桌面型超薄测头原子力显微镜采用独特的扁平式光杠杆光路设计，使得整机小巧轻薄，可直接放置于既有的光学系统中快速与之形成光学-原子力原位联用设备。

原子力显微镜（AFM）能够精确测量半导体衬底表面的微观起伏，量化粗糙度（Ra、Rq、Sa、Sq）等关键参数。这对于评估化学机械抛光（CMP）等关键工艺的效果至关重要，因为表面粗糙度直接影响载流子迁移率和器件可靠性。

二维材料作为21世纪材料科学的重要突破之一，以其独特的结构和优异的性能，在电子、能源、传感、光电子、医疗、环境等领域展现出革命性的应用潜力。二维材料有望在未来几十年内推动多个行业的技术革新，成为构建下一代智能、柔性、高效器件的核心基础材料。

原子力显微镜（AFM）作为一种超高分辨率、非破坏性的表面形貌与材料特性分析工具，能够对这些微观特征进行纳米级甚至原子级的表征，为LTPS的工艺优化、缺陷分析、机理研究及产品良率提升提供了关键性的数据支撑。

原子力显微镜（AFM）不仅为半导体器件的设计、制造和优化提供了关键数据支持，还在推动摩尔定律持续发展、新型半导体材料（如宽禁带半导体、二维材料）应用等方面具有不可替代的优势。

原子力显微镜（AFM）不仅能够提供薄膜表面形貌的高清图像和薄膜台阶高度、粗糙度等信息，还能深入分析其力学、电学、摩擦学等性能，为薄膜材料的设计、优化和应用提供了强有力的技术支撑。