半导体
在半导体领域从基础研究到工业应用有着关键作用
AFM-Tuner
晶圆级计量型原子力显微镜
晶圆级计量型原子力显微镜
AFM-Tuner是一款针对晶圆级样品开发的计量型原子力显微镜，配备300毫米全自动样品台和集成多路激光干涉仪的三维扫描式测头，可用于各类几何标样的计量校准。
特点
低漂移计量框架，六路激光干涉仪补偿阿贝误差
支持自动换针
支持自动装卸样品
支持可编辑Recipe自动检测
参数
- 扫描器柔性铰链式三维正交扫描器XY扫描范围≥100 μm×100 μmZ扫描范围大Z：≥15 μm（可选 20 μm）；小Z：≥2 μm噪声水平Z方向噪音水平≤0.05 nm RMS值；AFM测头底噪≤45 fm/Hz1/2
- 样品台配备光栅尺最大样品尺寸直径≥300 mm最大承重≥10 kgXY行程范围≥400 mm × 350 mm位移分辨力≤0.1 μm重复定位误差±0.75 μm可旋转角度360°角重复性±4”
- 光学系统物镜支持5X/10X/20X镜头视场840 μm×630 μm（10倍物镜）相机630万像素，彩色CMOS
- 控制器处理器2×FPGA+1×DSP模数转换器（ADC）4×High Speed ADC (40MS/s, 16bit)
6×Middle Speed ADC (1MS/s, 20bit)
4×Low Speed ADC (100kS/s , 24bit)数模转换器（DAC）4×High Speed DAC (50MS/s, 16bit)
6×Middle Speed DAC (1MS/s, 20bit) - AFM模式AFM模式
形貌成像
接触模式（Contact Mode）
轻敲模式（Tapping Mode）
磁学模式
磁力显微镜（MFM）
电学模式
静电力显微镜（EFM）
开尔文探针力显微镜（KPFM）
压电力显微镜（PFM）
力学模式
侧向力显微镜（LFM）
纳米压痕（Nano Indentation）
混合模式
真三维测量模式（True3D）
纳米刻蚀（Nano Lithography）
纳米操纵（Nano Manipulation）
