半导体
在半导体领域从基础研究到工业应用有着关键作用
特点
超薄测头
专利保护的扁平式光杠杆光路，测头有效厚度<8 mm
探针上方和前部空间无遮挡，适配正置和倾斜式物镜
样品扫描型仪器架构确保探针和物镜相对位置不变
多组精密螺杆调节机构，便于激光对准及落针位置调整
特点
与白光轮廓仪原位联用
AFM-Piccolo可与白光轮廓仪原位联用，在回形栅格测试中，联用系统利用白光干涉测头和原子力测头对栅格标样进行原位跨尺度表征，分别获得大范围三维形貌和局部轮廓及粗糙度，并实现两种量测方法对同一位置高度测量结果的比对。
特点
与拉曼显微镜原位联用
AFM-Piccolo可与拉曼显微镜原位联用，分别利用联用系统中的AFM和拉曼显微镜对分散了甲基紫分子的金膜表面的银纳米线进行原位形貌成像和光谱检测，验证了该体系下的表面增强拉曼光谱效应以及拉曼信号强度与纳米线方向的相关性。
参数
- 扫描器柔性铰链式三维正交扫描器XY扫描范围≥100 μm×100 μmZ扫描范围≥5 μm，可选10 μm/15μm/20 μm噪声水平Z方向噪音水平≤0.04 nm RMS值
- 样品台手动样品台样品尺寸直径≤30 mm，厚度≤5 mm下针点水平调整范围±15 mm
- 测头超薄型测头有效厚度<8 mm开口宽度10 mm探测器底噪约40 fm/Hz½
- 光学系统安装方式正置/倾斜物镜10X，可选20X/50X镜头，最高支持100X镜头（WD≥8 mm）相机630万像素，彩色CMOS
- 控制器处理器2×FPGA+1×DSP模数转换器（ADC）4×High Speed ADC (40MS/s, 16bit)
6×Middle Speed ADC (1MS/s, 20bit)
4×Low Speed ADC (100kS/s , 24bit)数模转换器（DAC）4×High Speed DAC (50MS/s, 16bit)
6×Middle Speed DAC (1MS/s, 20bit) - AFM模式AFM模式
形貌成像
接触模式（Contact Mode）
轻敲模式（Tapping Mode）
磁学模式
磁力显微镜（MFM）
电学模式
静电力显微镜（EFM）
开尔文探针力显微镜（KPFM）
压电力显微镜（PFM）
力学模式
侧向力显微镜（LFM）
纳米压痕（Nano Indentation）
混合模式
真三维测量模式（True3D）
纳米刻蚀（Nano Lithography）
纳米操纵（Nano Manipulation）
配件
核心控制器（S-Controller）
自主研发的国产新一代多功能原子力显微镜控制器，采用FPGA+DSP架构
配备24路独立的高精度ADC/DAC，可实现多种信号的高速并行处理及同步控制
能够为各类AFM工作模式提供硬件支持，综合性能达到国际一流水平
软件
离线分析软件
AFM-Piccolo配备的离线分析软件FreeAnalysis，可提供调平、滤波、2D/3D显示、截面分析、粗糙度计算、裁剪、拼接、傅里叶变换等标准功能，支持针对特定样品的专属分析功能定制。
支持导出第三方格式
支持定制开发
终身免费升级
截面粗糙度分析
2D显示
3D显示
区域粗糙度分析
台阶高度分析
频谱分析
软件
实时控制软件
AFM-Piccolo配备实时控制软件FreeControl，允许用户灵活配置各类扫描控制参数。
多通道图像实时显示
流程化操作顺序 扫描参数设置
光学观察窗口
状态监控
