WLI-Marimba
紧凑型白光轮廓仪

驱动方式

压电陶瓷驱动

电机驱动（可定制）

扫描范围

100 μm

100 mm （可定制）

三轴调节方式

X轴：手动 Y轴：手动 Z轴：手动

X轴：电控/手动 Y轴：电控/手动 Z轴：电控/手动

处理器

最新处理器（GPU加速，可定制）

显示屏

高清显示屏

操作软件

富睿思仪器专用操作软件

物镜

Michelson/Mirau 干涉物镜 （SX-SOX）（可定制）

相机

高速CCD相机（可定制）

像素数

1920*1080/2160*1440（可定制）

放大倍率

Michelson型：5X

Mirau型：10X 20X 30X

数值孔径

Michelson型：0.13

Mirau型：0.3 0.4 0.55

工作距离

Michelson型：11.2 mm

Mirau型：7.4 mm 4.7 mm 3.4 mm

横向分辨力❶

Michelson型：2.1 μm

Mirau型：0.92 μm 0.48 µm 0.21 µm

几何尺寸

20 cm (W) x 24 cm (D) x 40 cm (H)

重量

20 kg

电压

100-240±10% VAC

纵向扫描范围

100 μm压电陶瓷扫描器

100 mm步进电机扫描器

台阶高度测量相对误差❷

0.12% @ 1.762 µm ± 0.010 µm
0.21% @ 181.0 nm ± 2.1 nm
0.33% @ 45.5 nm ± 1.2 nm

台阶高度测量重复性 ❸

0.27% @ 1.762 µm ± 0.010 µm
0.30% @ 181.0 nm ± 2.1 nm
0.28% @ 45.5 nm ± 1.2 nm

表面形貌重复性❹

<0.180 nm

RMS重复性❺

0.008 nm

测量不确定度❻

0.63% @ 1.762 µm ± 0.010 µm
1.19% @ 181.0 nm ± 2.1 nm
2.65% @ 45.5 nm ± 1.2 nm

扫描用时❼

2s @ 1024*1024*1000
6s @ 2048*2048*1000

扫描速度❽

6 µm/s @ step=20 nm
18 µm/s @step=60 nm

注脚

性能参数根据1SO25178-601, 25178-604和5643-1, 在实验室条件下用标准样品测试得到。
❶横向分辨力为斯巴鲁准则，取决于物镜。
❷台阶高度测得值与标准值的相对误差。
❸10次测量台阶高度的1δ。
❹视场内出现0.5个周期的干涉条纹（全亮或全暗），Ra=0.178 nm的SiC光滑表面重复区域连续测量两次 ，差异平面的1δ。
❺测量条件同❹,Ra =0.178 nm的SiC光滑表面重复区域连续测量30次，平面Sq的1δ。
❻压电陶瓷扫描时，台阶高度测量不确定度。
❼尺寸为1024*1024pixel或2048*2048pixel, 采集图片张数为1000张，配置不同时，可能变化。
❽相机曝光时间1000 ms, 帧率300帧，采集图片像素尺寸1920*1080pixel，格式设置为8bit，配置不同时，可能变化。