原子力显微镜（AFM）作为一种超高分辨率、非破坏性的表面形貌与材料特性分析工具，能够对这些微观特征进行纳米级甚至原子级的表征，为LTPS的工艺优化、缺陷分析、机理研究及产品良率提升提供了关键性的数据支撑。