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富睿思（上海）精密仪器有限公司
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扫描范围为1.65 mm×1.65 mm的标准台阶形貌，其标称高度值181.0 nm ± 2.1 nm。能够用于评估测量系统的精度及重复性，为测量设备提供量值溯源与基准。

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182 nm标准台阶
182 nm标准台阶
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  • 抛光硅片
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