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这是一张扫描范围为0.548 mm×0.685 mm的激光打标器件形貌,激光打孔直径约为22 μm,其深度约为15.2 μm。获取打标深度、沟槽形貌以及可能产生的热影响区隆起,可用于评估打标质量、优化激光工艺参数。

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激光打标件
激光打标件
  • 滑油封盖
    滑油封盖
  • 金属凹槽
    金属凹槽
  • 抛光硅片
    抛光硅片
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