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张扫描范围为0.890 mm×1.208 mm的平面镜表面形貌,可为镜面加工工艺的评估与改进提供分析依据依据。

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平面镜
平面镜
  • 182 nm标准台阶
    182 nm标准台阶
  • 栅格
    栅格