新质生产力在虹口｜探秘富睿思仪器：缔造“纳米级尺子”，攻克芯片制造测量难题

想象一下，当我们需要测量一根头发丝的直径时，普通尺子已经无能为力——而精密仪器制造的“纳米级尺子”，却能精准测量比头发丝细万倍的表面结构。富睿思仪器就是这“神奇尺子”的缔造者，他们自主研发的高端精密测量设备如同科学家的“火眼金睛”，帮助解决芯片制造中的关键尺寸测量、屏幕像素缺陷检测等难题。

近日，记者走进这家专注于表面精密测量技术的高科技企业，探访其背后的创新故事与未来规划。

从高校实验室到产业化的跨越

富睿思仪器成立于2021年，创始人及技术团队均出身于天津大学精仪系，团队核心成员深耕原子力显微镜（AFM）和白光轮廓仪（WLI）领域十余年，技术积累深厚。

天津大学副教授吴森老师作为创始人兼首席科学家，其研发的掩模板修复技术曾授权国际巨头Bruker公司，并应用于全球头部半导体企业的EUV产线。

据吴森老师介绍，富睿思仪器的产品线覆盖了科研与工业领域，主打设备有：AFM-Baritone，是面向高端科研和工业用户开发的一款大机台原子力显微镜，配备200毫米全自动样品台，可用于8英寸以内各种规格晶圆及其他样品的形貌和物性检测。AFM-Piccolo，是一款专门为科研用户开发的桌面型原子力显微镜，配备超薄光杠杆式测头，探针上方和前侧空间完全开放，特别适合与各类高分辨光学显微系统原位集成联用。WLI-Marimba，是一款紧凑型白光轮廓仪，快速获取表面三维形貌，重复性误差低至0.008 nm。AFM-WLI Duet 是AFM-Piccolo与白光轮廓仪的同轴集成系统，可以实现大范围快速测量和小范围高分辨测量的完美结合。

更广阔的发展空间

2024年，富睿思将总部从苏州迁至上海虹口。谈及落户原因，联合创始人朱振华说：“上海的营商环境一流，虹口区的热忱服务和长远眼光更是打动我们的关键。这里的区位优势、人才资源、产业联动，将为企业提供更广阔的发展空间。”

依托于周边丰富的高校资源和人才优势，富睿思独家研发的True3D扫描技术，通过改进探针和矢量扫描方案，可一次性获取样品侧壁的完整三维形貌，解决了传统AFM的测量局限。此外，自动换针系统、变速扫描技术等创新，进一步提升了设备的可靠性和效率。

目前，产品已交付上海交大、京东方等国内知名高校和头部企业，实现在科学研究、半导体、显示面板等领域的应用。

国产高端精密测量设备新标杆

精密仪器设备是一个高附加值、高利润率、高智力密集型的细分赛道，其核心竞争力在于持续的技术创新与工艺沉淀。在这一领域，产品的价值不仅体现在硬件成本上，更在于其背后的研发积累、专利壁垒和定制化服务能力。

目前富睿思已拥有8项发明专利、3项实用新型专利，吴森老师强调：“我们不做低端仿制，而是对标国际顶尖产品，用技术创新赢得客户信任。”尽管初创阶段规模较小，但团队对长期发展充满信心，认为精密仪器行业需要“慢工出细活”的坚守。

朱振华表示，富睿思计划未来3-5年占据一定的市场份额，并逐步拓展国际市场，成为国产高端精密测量设备新标杆。

记者：殷建华

编辑：殷建华

图片：富睿思仪器、上海虹口融媒体中心图片库

来源：上海虹口融媒体中心