富睿思原子力显微镜与白光轮廓仪原位联用系统AFM-WLI Duet，为用户提供便捷的跨尺度形貌表征方案

AFM-WLI Duet 是富睿思桌面型超薄测头原子力显微镜AFM-Piccolo与白光轮廓仪WLI-Marimba（Linnik型）的同轴集成系统。AFM-Piccolo的测头设计独具匠心，其有效厚度小于8 mm，加上底座部分其厚度小于10 cm，非常便于与包括白光轮廓仪（WLI）在内的其它设备进行联用。WLI-Marimba（Linnik型）的设计，可以使白光轮廓仪有很大的工作距离，完美适配AFM-Piccolo的桌面型超薄测头。

在某些应用场景下，用户既需要大尺度快速测量结果，又需要小尺度高分辨测量结果，AFM-WLI Duet便可以为用户提供便捷的跨尺度测量方案，它分别使用白光干涉技术和原子力显微技术实现快速大范围测量和小范围高分辨测量，AFM和WLI二者的结合可为用户提供便捷的原位跨尺度形貌表征方案。

以下为大家介绍一下使用富睿思原子力显微镜和白光轮廓仪联用的测试案例。

图1是采用AFM-WLI Duet测试回字形栅格的测试结果，Visual Image是直接用光学显微镜观察到的图像，可以看到图像中的回字形栅格和探针悬臂及基底部分，在该图像中选取中心回字区域进行WLI成像，如蓝绿图像所示，成像范围为550 μm，红色section图像代表回字栅格高度差截面图，在该图像中选取回字凸起部分进行AFM成像，如黄褐色图像所示，成像范围为50 μm，蓝色section图像代表栅格高度差截面图，台阶高度约为105 nm，和白光轮廓仪的测试数据具备一致性。

图1：回型栅格扫描图像

图2是使用AFM-WLI Duet对静态随机存取存储器（Static Random-Access Memory，SRAM）进行测试得到的图像，左侧蓝色图像代表了SRAM的WLI成像图像，成像范围为500 μm，图中红色部分为AFM探针悬臂，右侧为AFM测试的形貌图图像，扫描范围为20 μm。测试过程中先对SRAM进行大范围的WLI成像，然后选取感兴趣的微区，使用AFM探针定位下针进行小尺度扫描。

 图2：SRAM扫描图像