原子力显微镜（AFM）在纳米薄膜研究中的作用

纳米尺度薄膜作为现代科技的基础材料之一，在电子、能源、生物、光学等多个前沿领域发挥着核心作用。对这些薄膜的精确表征与性能调控，是实现其功能化与高性能化的关键。

原子力显微镜（AFM）凭借其超高分辨率、丰富的表征维度和非破坏性的特点，成为纳米薄膜研究中最重要、最常用的工具之一。它不仅能够提供薄膜表面形貌的高清图像和薄膜台阶高度、粗糙度等信息，还能深入分析其力学、电学、摩擦学等性能，为薄膜材料的设计、优化和应用提供了强有力的技术支撑。因此，AFM 在纳米薄膜测量与表征领域具有不可替代的重要地位，是推动纳米科技与微纳制造进步的关键技术之一。

以下为大家介绍一些采用富睿思原子力显微镜（AFM）测试的薄膜的结果：

如下图所示，这是一张扫描范围为5 μm的ITO薄膜的表面形貌图像，整幅图的粗糙度为1.46 nm。

如下图所示，这是一张扫描范围为5 μm的PLZT薄膜的Lockin Phase图像，红色和黄色部分代表了Phase相差180°的不同压电畴区域。